射頻ICP離子源設計研究

本文介紹了射頻(RF)感應耦合等離子體(ICP)離子源的設計研究.對RF ICP的結構、離子流的引出以及離子流的均勻性、中性化和射頻匹配網絡進行了研究.

作 者： 許沭華 任兆杏 沈克明 翁堅   作者單位： 中國科學院等離子體物理研究所,安徽合肥,230031  刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(4)  分類號： O461.1  關鍵詞： 射頻 離子源 感應耦合等離子體(ICP)  

【射頻ICP離子源設計研究】相關文章：

電雷管射頻感度試驗的應用研究04-27

基于光電氧化還原反應的離子源內分析研究04-28

高溫超導磁共振成像射頻接收線圈的研究04-28

ICP-MS測定地表水中多個元素的分析方法研究04-29

一種高射頻連發(fā)測速系統(tǒng)設計04-26

ICP-AES法測定方鉛礦中多元素的方法研究04-28

基于射頻卡的車輛不停車智能管理系統(tǒng)研究04-28

更安全的射頻識別標簽04-26

MIMU系統(tǒng)設計研究04-29

索尼的設計管理研究04-26