旋轉載體用硅微機械陀螺的相位研究

介紹了利用旋轉栽體自身旋轉作為驅動力的硅微機械陀螺的相位提取技術.當陀螺的敏感軸平行于載體偏轉平面時,硅擺所受的哥氏力最大,輸出為正弦信號的峰值;當它的敏感軸和偏轉平面垂直時,輸出為正弦信號的零值.因此,以載體的自轉信號為基準,通過比較輸出信號波峰在輸入基準坐標中相位的變化可知敏感軸的方向,進而能夠確定旋轉平面及栽體在空間中的偏轉方向.

作 者： 王領 張金科 張福學 WANG Ling ZHANG Jin-ke ZHANG Fu-xue   作者單位： 北京信息工程學院傳感技術研究中心,北京市傳感器重點實驗室,北京,100101  刊 名： 微納電子技術  ISTIC PKU 英文刊名： MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 44(7)  分類號： V241.5  關鍵詞： 旋轉載體   硅微機械   陀螺儀   相位  

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